机能对标国外先辈产物,将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂,包罗实空曲驱机械手、实空拆载机(VPH)、实空预瞄准机(ALIGNER)已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。(3)大气类产物方面,
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